Вiддiл входить до складу вiддiлення VI
"Структурного i елементного аналiзу напiвпровiдникових матерiалiв i систем"
(зав. вiддiленням - академік НАН України Мачулiн В.Ф.)

У відділі працює 14 чоловік, серед них 1 академік НАН України, 2 доктори фіз.-мат. наук та 7 кандидатів фіз.-мат. наук.

Керiвник вiддiлу:
доктор фiзико-математичних наук, професор Кладько Василь Петрович


Високороздiльна Х-променева дифрактометрiя, комп'ютерне моделювання дифракцiйних процесiв:
доктор фiз.-мат. наук, професор - Кладько Василь Петрович
кандидат фiз.-мат.наук, наук. спiвр. - Єфанов Олександр Миколайович
кандидат фiз.-мат.наук, наук. співр. - Слободян Микола Васильович

Рентгеноакустика: 
Академік НАН України - Мачулiн Володимир Федорович
кандидат фiз.-мат.наук, наук. спiвр. - Гудименко Олександр Йосипович
аспірант - Поліщук Юля Сергіївна

Рентгеноструктурний аналiз напiвпровiдникiв та гетеросистем:
кандидат фiз.-мат.наук, старший наук. спiвр. - Кучук Андрiан Володимирович
кандидат фiз.-мат.наук, мол. наук. спiвр. - Сафрюк Надія Володимирівна
інженер І категорії - Максименко Зоя Василівна


Молекулярно-пучкова епiтаксiя:
кандидат фiз.-мат.наук, старший наук. спiвр. - Стадник Олександр Анатолiйович
кандидат фiз.-мат.наук, старший наук. спiвр. - Голтвянський Юрій Васильович

Менеджер вiддiлу:
пров. iнженер - Проскуренко Наталя Миколаївна